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          K-SPEED 等离子体刻蚀工艺模拟软件功能概述

          一、K-0DPLASMA软件概况

          K-0DPLASMA是一种批量等离子体仿真软件,采用零维空间方法对等离子体基本属性实现准确预测。K-0DPLASMA模拟中可综合考虑在实际环境下(包含功率、压力和气体流量等因素)等离子处理过程中的离子流、离子入射角、等离子密度等相关参数。


          二、应用范围

          基于流体模型实现零维等离子体分析。

          批量等离子体属性(离子类型、电子密度和离子密度信息)和鞘层分析。

          准确预测不同环境下的等离子体参数。


          三、K-SPEED软件概况

          K-SPEED是一种用于模拟等离子体刻蚀轮廓的仿真软件,通过综合考虑对干法刻蚀具有本质影响的物理和化学效应,实现高效求解,准确预测刻蚀轮廓及与其相关的弯曲,颈缩,蚀刻自停止,聚合物钝化等现象。


          四、应用范围

          等离子体刻蚀中晶圆表面反应分析

          三维纳米结构中离子/中性粒子纳米尺度模拟

          等离子体刻蚀中三维刻蚀轮廓时变预测


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          更多K-SPEED案例可戳:http://edu.yanfabu.com/course/1625


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